微電子

  在微電子制造領域，等離子清洗機被廣泛應用于多個環節。例如，在晶圓制造過程中，等離子清洗可以有效去除光刻膠殘留和金屬雜質，提高芯片的電性能和可靠性；在封裝測試階段，等離子清洗可以去除引線框架和封裝材料表面的氧化物和污染物，提高封裝的密封性和穩定性。此外，在MEMS（微機電系統）和納米技術等前沿領域，等離子清洗技術也發揮著重要作用。